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论文类型：期刊论文

发表时间：2007-01-01

发表刊物：微纳电子技术

收录刊物：ISTIC

卷号：44

期号：7

页面范围：332-334,338

ISSN号：1671-4776

关键字：气敏元件;甲醛;灵敏度;掺杂

摘要：用纳米SnO2制作了旁热式气敏元件.用掺杂方法提高SnO2甲醛气敏元件的灵敏度,掺杂剂包括Pd,Sb,Ti,Zr,Cu,Ag,Mn等.在SnO2气敏元件中分别掺杂质量分数2%Pd和2%Zr对提高元件灵敏度有显著效果.未掺杂SnO2、掺杂质量分数2%Pd和2%zr的气敏元件对体积分数为5×10-3甲醛的灵敏度分别为1.33,2.38,2.08,但是掺杂在改善元件对乙醇的选择性方面作用不大.分析了掺杂改善SnO2气敏元件灵敏度的原理,当SnO2表面吸附还原性气体时,吸附气体提供电子,使半导体表层的导电电子数增加,引起电导率增加、电阻下降.吸附气体浓度越高,电阻率变化越大,元件灵敏度越大.