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论文类型：会议论文

发表时间：2007-08-01

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关键字：气敏元件;甲醛;灵敏度;掺杂

摘要：用纳米 SnO_2制作了旁热式气敏元件。用掺杂方法提高 SnO_2甲醛气敏元件的灵敏度,掺杂剂包括 Pd,Sb,Ti,Zr,Cu,Ag,Mn 等。在 SnO_2气敏元件中分别掺杂质量分数2%Pd 和2%Zr 对提高元件灵敏度有显著效果。未掺杂 SnO_2、掺杂质量分数2%Pd 和2%Zr 的气敏元件对体积分数为5×10~(-5)甲醛的灵敏度分别为1．33,2．38,2．08,但是掺杂在改善元件对乙醇的选择性方面作用不大。分析了掺杂改善 SnO_2气敏元件灵敏度的原理,当 SnO_2表面吸附还原性气体时,吸附气体提供电子,使半导体表层的导电电子数增加,引起电导率增加、电阻下降。吸附气体浓度越高,电阻率变化越大,元件灵敏度越大。