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论文类型：会议论文

发表时间：2009-08-12

页面范围：81-82

关键字：溶胶凝胶;纳米薄膜;湿度传感器;湿敏元件

摘要：在测量科学中湿度是一个非常重要的参数，目前湿度传感器的研究正向集成化、智能化、多参数检测的方向发展。其中集成湿度传感器主要利用了与CMOSIC工艺相兼容的技术将传感器集成在硅片上，从而提高了传感器的灵敏度、线性度、精确度等，减小了器件的尺寸，利于低成本批量生产。本文采用溶胶-凝胶法研制了与CMOS工艺兼容的ZrO2/TiO2/Pt/SiO2/Si结构的纳米ZrO2薄膜湿敏元件，并进行了ZrO2薄膜的XRD表征及元件感湿性能的测试。