基于IC工艺甲醛气体传感器的研究
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论文类型：会议论文
发表时间：2008-08-06
页面范围：179-180
关键字：甲醛;气敏元件;灵敏度;气体传感器;纳米薄膜;溶胶-凝胶法
摘要：用溶胶凝胶(sol-gel)法制备了掺Pd的纳米SnO2薄膜.材料的平均粒径为15nm.采用IC工艺在硅衬底上制作了3×2mm的直热式薄膜甲醛气敏元件,对不同浓度甲醛气体下元件的灵敏度以及元件的响应恢复时间进行了测试.实验证明:元件的灵敏度随气体浓度的增大而增大,测量甲醛的最低浓度为1ppm.元件的响应和恢复时间均为100s.