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教授
博士生导师
硕士生导师
性别：女
毕业院校：吉林大学电子科学系
学位：硕士
所在单位：生物医学工程学院
联系方式：wangjing@dlut.edu.cn
电子邮箱：wangjing@dlut.edu.cn
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基于ANSYS的CMOS湿度传感器电极研究与设计
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论文类型：会议论文
发表时间：2007-08-06
页面范围：14-15
关键字：电极;有限元分析;湿度传感器;电场分布;ANSYS软件;CMOS工艺
摘要：结合CMOS工艺对湿度传感器电极的要求，针对三种常见的电极，使用ANSYS软件建立了有限元分析模型.考察了三种不同形状的电极在相同条件下，极板间电容的大小和电场分布情况，并对仿真结果进行分析比较，设计了一款适合CMOS湿度传感器的叉指电极.