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论文类型：期刊论文

发表时间：2003-08-10

发表刊物：大连理工大学学报

收录刊物：Scopus、EI、PKU、ISTIC、CSCD

卷号：43

期号：4

页面范围：522-526

ISSN号：1000-8608

关键字：湿敏元件;钛酸钡;硅衬底;特性分析

摘要：以硅片为衬底制作了纳米钛酸钡膜湿敏元件. 用硬脂酸盐法合成纳米钛酸钡材料,丝网印刷法将纳米钛酸钡涂在硅衬底上制成电阻式湿敏元件. 测试分析了元件的性能参数. 结果表明,元件具有较高的灵敏度. 元件阻抗和电容值随测试频率及相对湿度而变化,但基本不随测试电压变化. 在1 V、100 Hz条件下,元件阻抗-相对湿度关系曲线的线性最好. 由不同湿度的复阻抗平面特性曲线得到了材料感湿特性等效电路,讨论了材料的感湿机理. 低湿时,材料本身颗粒电阻和电容及吸附的少量水共同起作用;高湿时,主要是吸附的水分子电离和极化起作用.