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个人信息Personal Information
副教授
硕士生导师
性别：男
毕业院校：中科院北京物理研究所
学位：博士
所在单位：物理学院
电子邮箱：zhangpy@dlut.edu.cn
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Formation and diagnosis of dust particles in a radio-frequency(RF) SiH4/C2H4/Ar discharge
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论文类型：期刊论文
发表时间：2008-01-01
发表刊物：Frontier of Applied Plasma Technology
卷号：1
期号：1
页面范围：77-80