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个人信息Personal Information
副教授
硕士生导师
性别：男
毕业院校：中科院北京物理研究所
学位：博士
所在单位：物理学院
电子邮箱：zhangpy@dlut.edu.cn
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脉冲调制射频容性耦合SiH4/C2H4/Ar放电的发射光谱诊断
点击次数：
论文类型：期刊论文
发表时间：2011-01-01
发表刊物：真空
收录刊物：ISTIC
卷号：48
期号：3
页面范围：28-31
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副教授
硕士生导师
性别：男
毕业院校：中科院北京物理研究所
学位：博士
所在单位：物理学院
电子邮箱：zhangpy@dlut.edu.cn
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论文类型：期刊论文
发表时间：2011-01-01
发表刊物：真空
收录刊物：ISTIC
卷号：48
期号：3
页面范围：28-31