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个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别：男
毕业院校：广岛大学
学位：博士
所在单位：物理学院
学科：等离子体物理
办公地点：物理学院三束材料改性教育部重点实验室3号楼205室
联系方式：0411-84709795-25
电子邮箱：wenxq@dlut.edu.cn
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热丝化学气相沉积制备多晶硅薄膜的研究
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论文类型：期刊论文
发表时间：2022-07-03
发表刊物：电子元件与材料
卷号：25
期号：5
页面范围：23-26
ISSN号：1001-2028