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个人信息Personal Information
教授级高工
硕士生导师
任职 : 大连理工大学材料测试分析中心 负责人
性别：男
毕业院校：大连理工大学
学位：硕士
所在单位：材料科学与工程学院
学科：材料学
办公地点：大连理工大学材料科学与工程学院 材料实验中心 材料馆131
联系方式：15509867057 zoulong@dlut.edu.cn
电子邮箱：zoulong@dlut.edu.cn
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[w056]单晶硅片上Silicalite-1沸石薄膜的合成
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论文类型：期刊论文
发表时间：2004-01-01
发表刊物：化学通报
收录刊物：PKU、ISTIC
卷号：67
期号：7
页面范围：551-551
ISSN号：0441-3776
关键字：硅片;Silicalite-1;沸石;沸石薄膜;气体传感器
摘要：利用低温化学气相沉积法,在经过热氧化处理的单晶硅片(100)上引入硅源;再利用气相转移法,将硅片上的硅源晶化为Silicalite-1沸石晶体;最后,利用二次生长法与直接原位晶化法相结合,将含有沸石晶种的硅片放入沸石合成前驱液中,在单晶硅片上合成出了连续致密的薄Silicalite-1沸石膜,单晶硅片没有被腐蚀.