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Indexed by:期刊论文

Date of Publication:2007-09-15

Journal:感光科学与光化学

Included Journals:Scopus、ISTIC、CSCD

Volume:25

Issue:5

Page Number:357-363

ISSN No.:1000-3231

Key Words:193nm光刻胶;甲基丙烯酸(2-烷基-2-金刚烷)酯;2-金刚酮;水解

Abstract:甲基丙烯酸(2-甲基-2-金刚烷)酯和甲基丙烯酸(2-乙基-2-金刚烷)酯是两个重要的193 nm光刻胶主体树脂的单体.两个化合物是由2-金刚酮与碘甲烷、碘乙烷的格氏试剂反应得到2-甲基-2-金刚醇、2-乙基-2-金刚醇,然后在氢化钠的作用下与甲基丙烯酰氯发生酯化反应制得.酯化产率50%-60%.产品结构经1HNMR、IR、MS和元素分析表征.在对甲基苯磺酸-水合物的催化作用下对两个单体进行了水解测试,探讨了水解机理,计算出水解速率常数k,k值分别为-1.52和-3.90.