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Indexed by:期刊论文

Date of Publication:2010-07-15

Journal:光学精密工程

Included Journals:EI、PKU、ISTIC、CSCD

Volume:18

Issue:7

Page Number:1605-1612

ISSN No.:1004-924X

Key Words:注射成型;微流控芯片;微沟槽;图像处理;无损检测

Abstract:针对注射成型的微流控芯片具有微沟槽深度成型质量好,宽度成型质量较差,而且各处微沟槽的宽度成型质量不均衡的特点,利用Matlab软件的图像处理工具箱开发了微流控芯片微沟槽显微平面图片的图像处理系统,实现了利用常用的光学显微镜对微沟槽的成型质量进行无损检测.引入人工干涉来进行高效图像去噪处理.根据提取的微结构轮廓点进行了微沟槽轮廓的曲线拟合,测量了微沟槽的开口宽度和底部宽度.对由微流控芯片微沟槽显微平面图片所得到的测量结果与由对微流控芯片进行切片检测所得到的测量结果进行比较,结果显示,两种方法得到的微沟槽开口宽度相差约4%,槽底部宽度相差约3%,说明微沟槽显微平面图片的测量结果能够满足注射成型工艺研究中微流控芯片微结构成型质量检测的要求.