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教授
博士生导师
硕士生导师
任职 : 国际磨粒技术学会(International Committee of Abrasive Technology, ICAT)委员,中国机械工程学会极端制造分会副主任、生产工程分会常务委员、微纳米制造技术分会常务委员,中国机械工程学会生产工程分会磨粒加工技术专业委员会副主任、切削加工专业委员会常委委员、精密工程与微纳技术专业委员会常委委员,中国机械工程学会特种加工分会超声加工技术委员会副主任,中国机械工程学会摩擦学分会微纳制造摩擦学专业委员会常务委员,中国机械工业金属切削刀具协会切削先进制造技术研究会常务理事、对外学术交流工作委员会副主任、切削先进制造技术研究会自动化加工技术与系统委员会副主任。
性别:男
毕业院校:西北工业大学
学位:博士
所在单位:机械工程学院
学科:机械制造及其自动化. 机械电子工程. 航空宇航制造工程
办公地点:机械工程学院7191
电子邮箱:kangrk@dlut.edu.cn
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ULSI制造中铜化学机械抛光的腐蚀磨损机理分析
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论文类型:期刊论文
发表时间:2005-07-15
发表刊物:润滑与密封
收录刊物:EI、PKU、ISTIC、Scopus
期号:4
页面范围:77-80
ISSN号:0254-0150
关键字:ULSI;铜化学机械抛光;材料去除机理;腐蚀磨损
摘要:以超大规模集成电路(ULSI)芯片多层互连结构制造中的关键平坦化工艺--铜化学机械抛光(Cu-CMP)为研究对象,针对Cu-CMP中存在的抛光液的化学腐蚀作用和磨料的机械磨损现象,采用腐蚀磨损理论分析了Cu-CMP材料去除机理.提出铜CMP的材料去除中存在着机械增强的化学腐蚀和化学增强的机械磨损,并分析了Cu-CMP的静态腐蚀材料去除、机械增强的腐蚀去除与化学增强的机械去除机理.