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教授
博士生导师
硕士生导师
任职 : 国际磨粒技术学会（International Committee of Abrasive Technology, ICAT）委员，中国机械工程学会极端制造分会副主任、生产工程分会常务委员、微纳米制造技术分会常务委员，中国机械工程学会生产工程分会磨粒加工技术专业委员会副主任、切削加工专业委员会常委委员、精密工程与微纳技术专业委员会常委委员，中国机械工程学会特种加工分会超声加工技术委员会副主任，中国机械工程学会摩擦学分会微纳制造摩擦学专业委员会常务委员，中国机械工业金属切削刀具协会切削先进制造技术研究会常务理事、对外学术交流工作委员会副主任、切削先进制造技术研究会自动化加工技术与系统委员会副主任。
性别：男
毕业院校：西北工业大学
学位：博士
所在单位：机械工程学院
学科：机械制造及其自动化. 机械电子工程. 航空宇航制造工程
办公地点：机械工程学院7191
电子邮箱：kangrk@dlut.edu.cn
A novel approach of mechanical chemical grinding
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论文类型：期刊论文
发表时间：2017-12-05
发表刊物：JOURNAL OF ALLOYS AND COMPOUNDS
收录刊物：Scopus、SCIE、EI
卷号：726
页面范围：514-524
ISSN号：0925-8388
关键字：Mechanical chemical grinding; Ceria; Silicon; Transmission electron microscopy; X-ray diffraction
摘要：In this study, two diamond wheels are newly developed. A novel approach of mechanical chemical grinding (MCG) is proposed using the diamond wheel (C2) with ceria (CeO2) developed. A uniform wear layer of 48 nm in thickness is obtained on a silicon (Si) wafer ground by the C2 at a feed rate of 12 mu m/min, which is less than one third that formed by a conventional diamond wheel with mesh size of 5000. The uniform wear layer consists of a 40 nm amorphous layer at the top and an 8 nm damage crystalline layer beneath. Si, silica (SiO2) and SiOx are identified on all the ground Si wafers by energy dispersive spectroscopy, X-ray diffraction (XRD), X-ray photoelectron spectroscopy and Raman spectra. Only CeO2 and diamond are confirmed by XRD on the C2, indicating the perfect vitrified effect. CeO2, diamond and amorphous carbon are discerned by Raman spectra on the C2 at 466,1332 and 1430 cm(-1), respectively. (C) 2017 Elsevier B.V. All rights reserved.