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教授
博士生导师
硕士生导师
任职 : 国际磨粒技术学会（International Committee of Abrasive Technology, ICAT）委员，中国机械工程学会极端制造分会副主任、生产工程分会常务委员、微纳米制造技术分会常务委员，中国机械工程学会生产工程分会磨粒加工技术专业委员会副主任、切削加工专业委员会常委委员、精密工程与微纳技术专业委员会常委委员，中国机械工程学会特种加工分会超声加工技术委员会副主任，中国机械工程学会摩擦学分会微纳制造摩擦学专业委员会常务委员，中国机械工业金属切削刀具协会切削先进制造技术研究会常务理事、对外学术交流工作委员会副主任、切削先进制造技术研究会自动化加工技术与系统委员会副主任。
性别：男
毕业院校：西北工业大学
学位：博士
所在单位：机械工程学院
学科：机械制造及其自动化. 机械电子工程. 航空宇航制造工程
办公地点：机械工程学院7191
电子邮箱：kangrk@dlut.edu.cn
Physically-based modeling of pad-asperity scale chemical-mechanical synergy in chemical mechanical polishing
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论文类型：期刊论文
发表时间：2019-10-01
发表刊物：TRIBOLOGY INTERNATIONAL
收录刊物：SCIE、EI
卷号：138
页面范围：307-315
ISSN号：0301-679X
关键字：CMP; Pad asperity; Material removal rate; Chemical-mechanical synergy
摘要：The performance of chemical mechanical polishing (CMP) has been found highly dependent on the pad-work-piece contact status, which is far from theoretical understanding. To this end, a physically-based material removal rate (MRR) model is developed under pad-asperity scale. The theoretical predictions agree well with the experimental results no matter the contact spots distribution is dispersed or concentrated. It is found that the deterioration of MRR is attributed to the continuously reduced number of reacted atoms in each individual contact spot and the inadequate time for chemical reaction between successive contact spots. The present model is expected to facilitate the clarification of the effect of contact status on MRR, and further provide a strategy for CMP mechanisms investigation.