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三层亚波长光栅结构的透射特性

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Indexed by:期刊论文

Date of Publication:2013-05-08

Journal:纳米技术与精密工程

Included Journals:Scopus、ISTIC、CSCD

Volume:11

Issue:5

Page Number:442-446

ISSN No.:1672-6030

Key Words:三层亚波长光栅;偏振滤波器;透射增强

Abstract:设计了一种具有三层结构的亚波长金属光栅,采用时域有限差分(FDTD)法对所设计的三层光栅结构进行仿真计算.与单层金属光栅相比,这种三层的光栅结构具有更好的滤波效果,其透射光谱中峰值可达77%,且能很好地抑制高波段的透射率.分析了各几何参数对所设计的光栅结构透射特性的影响,尤其是对透射光谱中0值位置的影响.结果表明0值位置主要受光栅缝宽、介质层高度和介质折射率的影响,而与金属层光栅的高度无关.其影响规律为偏振滤波器的设计提供了参考.

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