Release Time:2019-03-10  Hits:

Indexed by: Conference Paper

Date of Publication: 2006-09-21

Page Number: 1871-1874

Key Words: 微气压传感器;模糊控制;模糊PID控制;MATLAB仿真;测试系统;气压控制

Abstract: 本文针对微热板式微气压传感器的静态和动态性能测试,对传感器的真空测试环境进行了实时控制仿真.运用模糊控制算法与模糊PID控制算法,对实验进行了建模及MATLAB仿真,并比较了两种算法的控制效果.结果显示,调整系统控制量的模糊PID控制稳态误差小,控制效果明显优于模糊控制算法.本仿真结果为实现传感器所需真空测试环境1kPa～100kPa的实时气压控制提供了依据.