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Indexed by:会议论文
Date of Publication:2004-07-01
Volume:Vol.23
Page Number:3
Key Words:集成温度传感器;AD590;PN结;单片集成
Abstract:本文研究了集成温度传感器AD590在气压测量中的应用。利用真空测试系统,用AD590作为敏感元件和信号的转换元件,对1-100kpa范围内的气压进行了测试。测试结果表明,AD590对该范围内的气压有良好的线性响应,敏感元件本身为集成电路工艺,不需进行微机械加工,即能实现系统的单片集成。
