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个人信息Personal Information
副教授
硕士生导师
性别：男
毕业院校：吉林工业大学
学位：博士
所在单位：机械工程学院
学科：机械制造及其自动化. 机械电子工程. 测试计量技术及仪器
办公地点：机械工程学院知方楼6025
联系方式：rcjin@dlut.edu.cn
电子邮箱：rcjin@dlut.edu.cn
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微气压传感器测试系统的真空自动控制研究
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论文类型：会议论文
发表时间：2007-08-25
页面范围：457-460
关键字：微气压传感器;真空度平衡;实时控制;模糊PID控制
摘要：针对微热板式微气压传感器的动、静态性能测试,建立了一套保持真空度稳定的控制系统.参考MATLAB的仿真结果,分别采用模糊控制与模糊PID控制算法设计出控制器,对传感器测试系统的真空度进行了实时控制研究,探讨并分析了真空度动态平衡的控制问题.结果显示,调整系统控制量的模糊PID控制稳态误差小、鲁棒性比较好,可以有效地对测试环境进行真空度调节和设置,能够解决传感器所需气压测试环境10～1000Pa的实时气压控制问题.