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个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别：男
毕业院校：北京航空航天大学
学位：博士
所在单位：机械工程学院
学科：机械电子工程. 微机电工程. 测试计量技术及仪器
办公地点：机械大方楼6019
联系方式：0411-84706108
电子邮箱：chujk@dlut.edu.cn
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一种制作沟槽型同位素微电池表面电极的新工艺
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论文类型：期刊论文
发表时间：2008-04-25
发表刊物：功能材料与器件学报
收录刊物：PKU、ISTIC
卷号：14
期号：2
页面范围：349-352
ISSN号：1007-4252
关键字：同位素微电池;SU8胶;剥离工艺;表面电极
摘要：开发了一种利用SU8胶剥离工艺制作沟槽型同位素微电池表面电极的新工艺,通过使用BP212正胶作为牺牲层,有效地解决了在制作沟槽型同位素微电池表面电极时,堆胶以及沟槽中SU8胶不易去除的难题.该工艺操作简单、可靠,成本低,因此具有很大的实用价值.