Release Time:2019-03-10  Hits:

Indexed by: Journal Article

Date of Publication: 2003-09-20

Journal: 传感器技术

Included Journals: CSCD、PKU

Volume: 22

Issue: 9

Page Number: 8-11,15

ISSN: 1000-9787

Key Words: 扫描探针显微术;微观几何形状;传感器

Abstract: 随着微技术的发展,对微观结构的精确测量变得越来越重要.对能够用于微观几何形状测量的扫描探针显微技术--扫描隧道显微术(STM)、扫描光学近场显微术(SNOM)和原子力显微术(AFM)进行了比较详细的分析和介绍.