用于制备氮化硅的四氯化硅回收精制工艺
点击次数:
论文类型:期刊论文
论文编号:374792
发表时间:2023-05-28
发表刊物:当代化工
卷号:52
期号:05
页面范围:1125-1128+1136
关键字:Aspen Plus; 四氯化硅; 氮化硅; 能量集成
CN号:21-1457/TQ
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论文编号:374792
发表时间:2023-05-28
发表刊物:当代化工
卷号:52
期号:05
页面范围:1125-1128+1136
关键字:Aspen Plus; 四氯化硅; 氮化硅; 能量集成
CN号:21-1457/TQ