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激发频率对硅烷等离子体放电参数的影响

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Indexed by:会议论文

Date of Publication:2007-08-20

Page Number:10

Key Words:等离子体放电;激发频率;电子密度;鞘层;碰撞频率;离子能量;沉积速率;电场强度;连续性方程;自洽;

Abstract:~~

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