期刊论文

王晓东

刘冲,马骊群,罗怡,王立鼎

2004-01-01

高技术通讯

PKU、ISTIC、CSCD

J

14

7

45-48

1002-0470

微流控芯片;微通道热压成形;热键合;制造自动化

实现塑料微流控芯片制作的自动化能够大幅度降低制作成本,稳定芯片质量,并使芯片具有较好的一致性,是推广应用、实现产业化所亟待解决的重要问题.本文简要介绍了微流控芯片的发展现状,指出影响其推广应用的主要障碍及所面临的主要问题.阐述了实现塑料微流控芯片制作自动化的意义.简述了制作塑料微流控芯片的两种主要方法 --模塑法和热压法,分析了热压法制作塑料微流控芯片的工艺过程及其实现自动化所需解决的诸如自动脱片、基片与盖片的自动对准及预联接等技术问题.介绍了大连理工大学微系统研究中心同北京航空航天大学机器人研究所合作研制开发的塑料(PMMA)微流控芯片的自动化制造系统,并简要说明了主要的组成设备.