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论文成果

集成Pt电极电化学微流控芯片制作工艺研究

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论文类型：会议论文
发表时间：2005-08-13
文献类型：A
卷号：Vol.16
页面范围：94-95
关键字：电化学;微流控芯片;剥离工艺;集成Pt电极
摘要：　　本文研究了一种集成Pt电极的安培型电化学微流控芯片的制备方法.在清洗后的SODA-LIME玻璃上涂敷正性光刻胶光刻,显影后开窗于微电极图形部分,利用射频溅射台溅射Pt后,采用剥离的方法得到Pt微电极.在另一玻璃基片上采用湿法腐蚀的方法得到微通道.微电极与微通道出口的对准工艺在自行研制的立体显微镜下完成,对准后的芯片在马弗妒中热键合,获得集成Pt电极的玻璃电化学微流控芯片.

上一条：一种新型微流控芯片金属热压模具的制作工艺研究

下一条：一种连接石英毛细管的聚甲基丙烯酸甲酯电泳芯片的制作及其应用

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