|
个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别：女
毕业院校：上海大学
学位：博士
所在单位：机械工程学院
电子邮箱：luoy@dlut.edu.cn
扫描关注
集成Pt电极电化学微流控芯片制作工艺研究
点击次数：
论文类型：会议论文
发表时间：2005-08-13
卷号：Vol.16
页面范围：94-95
关键字：电化学;微流控芯片;剥离工艺;集成Pt电极
摘要： 本文研究了一种集成Pt电极的安培型电化学微流控芯片的制备方法.在清洗后的SODA-LIME玻璃上涂敷正性光刻胶光刻,显影后开窗于微电极图形部分,利用射频溅射台溅射Pt后,采用剥离的方法得到Pt微电极.在另一玻璃基片上采用湿法腐蚀的方法得到微通道.微电极与微通道出口的对准工艺在自行研制的立体显微镜下完成,对准后的芯片在马弗妒中热键合,获得集成Pt电极的玻璃电化学微流控芯片.