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论文类型：期刊论文

发表时间：2005-01-01

发表刊物：中国机械工程

收录刊物：ISTIC、PKU

卷号：16

期号：z1

页面范围：94-95

ISSN号：1004-132X

关键字：电化学;微流控芯片;剥离工艺

摘要：研究了一种集成Pt电极的安培型电化学微流控芯片的制备方法.在清洗后的SODA-LIME玻璃上涂敷正性光刻胶光刻,显影后开窗于微电极图形部分,利用射频溅射台溅射Pt后,采用剥离的方法得到Pt微电极.在另一玻璃基片上采用湿法腐蚀的方法得到微通道.微电极与微通道出口的对准工艺在自行研制的立体显微镜下完成,对准后的芯片在马弗妒中热键合,获得集成Pt电极的玻璃电化学微流控芯片.