罗怡
个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别:女
毕业院校:上海大学
学位:博士
所在单位:机械工程学院
电子邮箱:luoy@dlut.edu.cn
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ITO玻璃电致化学发光微流控芯片的低温键合
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论文类型:期刊论文
发表时间:2007-12-15
发表刊物:纳米技术与精密工程
收录刊物:EI、ISTIC、CSCD、Scopus
卷号:5
期号:4
页面范围:331-334
ISSN号:1672-6030
关键字:电致化学发光微流控芯片;氧化铟锡(ITO)玻璃;低温键合
摘要:研究了一种利用商品化的氧化铟锡(ITO)玻璃制作一次性电致化学发光微流控芯片的方法.采用光刻和湿法腐蚀ITO(氧化铟锡)层制作微电极;利用同样的方法,在另一片Cr板玻璃上湿法腐蚀微沟道.在玻璃之间夹入PE薄膜作为问质实现芯片的低温键合,采用开孔和预压处理PE薄膜,解决了键合气泡和储液池边缘变形问题.该方法解决了ITO玻璃不耐高温的问题,在120~125℃实现了微通道的有效封接,芯片的键合强度达到0.7 MPa.