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Indexed by:会议论文
Date of Publication:2005-09-01
Page Number:1
Key Words:类金刚石薄膜;液相电化学沉积
Abstract:类金刚石薄膜(DLC)的结构与性能取决于沉积方法和工艺。目前采用的制备方法有化学气相沉积和物理气相沉积法,如离子束沉积、微波等离子体辅助沉积、电子回旋共振、磁控溅射沉积和脉冲激光沉积等。这些方法仍存在一定的局限性:(1)在沉积前后,由于温差载荷的作用,会在基底与DLC薄膜界面层之间形成较大的热应力,从而导致两者结合较差,使薄膜容易脱落:(2)上述所有方法均需要真空系统,沉积成本高;(3)气相合成试验装置复杂且村底温度较高,不利于大规模工业化生产。
