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Indexed by:期刊论文
Date of Publication:2008-12-28
Journal:太阳能学报
Included Journals:Scopus、EI、PKU、ISTIC、CSCD
Volume:29
Issue:12
Page Number:1538-1545
ISSN No.:0254-0096
Key Words:热丝化学气相沉积;多晶硅;微晶硅;太阳电池;薄膜晶体管
Abstract:综述了热丝化学气相沉积法(HWCVD),制备多晶硅薄膜的发展过程,着重介绍了这种制备方法在近几年的研究进展,并展望了今后发展趋势和前景.
