点击次数：

论文类型：期刊论文

发表时间：2007-10-15

发表刊物：电子显微学报

收录刊物：ISTIC、CSCD

卷号：26

期号：5

页面范围：411-414

ISSN号：1000-6281

关键字：类金刚石薄膜;电化学沉积;扫描电镜;电子衍射谱

摘要：采用脉冲直流电源,以甲醇有机溶液作为碳源,在低温(60 ℃～70 ℃)常压条件下,在(100)硅片上沉积了类金刚石薄膜.用扫描电镜、透射电镜、电子衍射谱和拉曼光谱表征了薄膜的表面形貌和结构.结果表明:类金刚石薄膜致密均匀,表面粗糙度小;Raman光谱在1 332 cm-1附近有一强峰,与金刚石的特征峰接近;电子衍射谱的分析结果表明薄膜中含有多晶金刚石和石墨碳相.