液相法电沉积类金刚石薄膜的结构分析
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论文类型：期刊论文
发表时间：2007-10-15
发表刊物：电子显微学报
收录刊物：CSCD、ISTIC
卷号：26
期号：5
页面范围：411-414
ISSN号：1000-6281
关键字：类金刚石薄膜;电化学沉积;扫描电镜;电子衍射谱
摘要：采用脉冲直流电源,以甲醇有机溶液作为碳源,在低温(60 ℃～70 ℃)常压条件下,在(100)硅片上沉积了类金刚石薄膜.用扫描电镜、透射电镜、电子衍射谱和拉曼光谱表征了薄膜的表面形貌和结构.结果表明:类金刚石薄膜致密均匀,表面粗糙度小;Raman光谱在1 332 cm-1附近有一强峰,与金刚石的特征峰接近;电子衍射谱的分析结果表明薄膜中含有多晶金刚石和石墨碳相.