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个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别：男
毕业院校：西北工业大学
学位：博士
所在单位：材料科学与工程学院
电子邮箱：gfzhang@dlut.edu.cn
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热丝法制备多晶硅薄膜的研究进展
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论文类型：期刊论文
发表时间：2008-12-28
发表刊物：太阳能学报
收录刊物：Scopus、EI、PKU、ISTIC、CSCD
卷号：29
期号：12
页面范围：1538-1545
ISSN号：0254-0096
关键字：热丝化学气相沉积;多晶硅;微晶硅;太阳电池;薄膜晶体管
摘要：综述了热丝化学气相沉积法(HWCVD),制备多晶硅薄膜的发展过程,着重介绍了这种制备方法在近几年的研究进展,并展望了今后发展趋势和前景.