Release Time:2019-03-10  Hits:

Indexed by: Journal Article

Date of Publication: 2006-03-30

Journal: 大连理工大学学报

Included Journals: Scopus、CSCD、ISTIC、PKU、EI

Volume: 46

Issue: 2

Page Number: 157-159

ISSN: 1000-8608

Key Words: 钽;热阴极;辉光放电

Abstract: 为快速沉积高品质金刚石膜,建立了热阴极等离子体化学气相沉积方法.相对于常规冷阴极辉光放电而言,热阴极辉光放电是一种新型放电形式,具有许多新的特性,其中重要一方面是阴极工作在较高的温度(700～1 200℃).研究了钽阴极在此温度条件下,在PCVD气氛中的反应情况.结果表明,钽与气氛中的碳反应形成了有益于放电和阴极防护的碳化钽表面,而气氛中氧的存在会影响阴极的正常工作,甚至造成阴极损坏.为有效保护阴极,需严格控制真空系统的本底真空度和漏气率.