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Indexed by:期刊论文

Date of Publication:2010-11-26

Journal:吉林大学学报（理学版）

Included Journals:PKU、ISTIC、CSCD

Volume:48

Issue:6

Page Number:1027-1030

ISSN No.:1671-5489

Key Words:B-C-N薄膜;N2流量;傅里叶变换红外光谱;射频磁控溅射

Abstract:采用射频磁控溅射方法, 分别利用六方氮化硼(h-BN)、硼(B)和石墨(C)靶, 在氩气和氮气的氛围中, 沉积B-C-N薄膜. 傅里叶变换红外光谱(FTIR)分析表明: 在1 200～1 800 cm-1和1 000～1 750 cm-1处出现了较宽的吸收峰;在2 200 cm-1处出现了 NC 键的特征吸收峰. 表明在沉积的薄膜中, C原子与N原子相结合. 分别溅射C和h-BN靶, 红外光谱分析表明, B-C键在1 100 cm-1处未产生吸收峰, 即利用h-BN和C靶沉积的B-C-N薄膜倾向于相分离, 利用B和C靶沉积的B-C-N薄膜中的原子实现了原子量级的化合.