金刚石膜制备工艺对其应力-应变特性的影响
Release Time:2019-03-10 Hits:
Indexed by: Journal Article
Date of Publication: 2006-09-26
Journal: 吉林大学学报（理学版）
Included Journals: CSCD、ISTIC
Volume: 44
Issue: 5
Page Number: 784-786
ISSN: 1671-5489
Key Words: 化学气相沉积;金刚石膜;应力-应变
Abstract: 研究了在直流热阴极辉光放电等离子体化学气相沉积制备金刚石厚膜的工艺过程中,放电电流和甲烷浓度对金刚石膜应力-应变特性的影响规律.