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Indexed by:会议论文
Date of Publication:2008-07-01
Page Number:162-166
Key Words:聚合物 微纳米压印技术 表面粗糙 分辨率 光波导
Abstract:在成功制备出一类具有低光学损耗、良好成膜特性和可热/光双固化的纯液态高性能聚合物光波导材料的基础上，对紫外微纳米压印成形技术制备聚合物集成光波导工艺进行了实验研究，采用光学显微镜和扫描电子显微镜对模具和压印波导进行了观测，结果表明制备的波导与模具上的图案能很好的吻合，同时具有很好的表面光洁度和与传统光刻工艺相比较小的表面粗糙度。对目前存在的问题进行了讨论分析并给出了进一步研究的建议。
