Release Time:2019-03-10  Hits:

Indexed by: Journal Article

Date of Publication: 2007-09-15

Journal: 感光科学与光化学

Included Journals: CSCD、ISTIC、Scopus

Volume: 25

Issue: 5

Page Number: 357-363

ISSN: 1000-3231

Key Words: 193nm光刻胶;甲基丙烯酸(2-烷基-2-金刚烷)酯;2-金刚酮;水解

Abstract: 甲基丙烯酸(2-甲基-2-金刚烷)酯和甲基丙烯酸(2-乙基-2-金刚烷)酯是两个重要的193 nm光刻胶主体树脂的单体.两个化合物是由2-金刚酮与碘甲烷、碘乙烷的格氏试剂反应得到2-甲基-2-金刚醇、2-乙基-2-金刚醇,然后在氢化钠的作用下与甲基丙烯酰氯发生酯化反应制得.酯化产率50%-60%.产品结构经1HNMR、IR、MS和元素分析表征.在对甲基苯磺酸-水合物的催化作用下对两个单体进行了水解测试,探讨了水解机理,计算出水解速率常数k,k值分别为-1.52和-3.90.