脆性材料用固结金刚石线锯切割技术研究进展
Release Time:2019-11-01 Hits:
Indexed by: Journal Papers
Date of Publication: 2019-09-17
Journal: 金刚石与磨料磨具工程
Included Journals: PKU
Volume: 39
Issue: 4
Page Number: 97-102
ISSN: 1006-852X
Key Words: 脆性材料;固结金刚石线锯;切割技术;线锯切割设备
Abstract: 脆性材料在光学元器件行业、半导体行业、光伏产业,石材行业等领域有着重要的应用.通过分析脆性材料常用切割方式、固结金刚石线锯切割原理、固结金刚石线锯制造工艺及固结金刚石线锯机床加工方式等,研究不同加工方式对脆性材料切割质量的影响.结果发现:单向循环式金刚石线锯机床能超长时间高速切割,且线锯线速度稳定,可实现硬脆材料的精密超精密切割,是未来发展的主流;而环形金刚石线锯是单向循环式金刚石线锯机床的重要组成部分,其加工制造工艺是未来发展的难点.