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教授
博士生导师
硕士生导师
任职 : 精密与特种加工教育部重点实验室 副主任； 中国光整加工专业委员会 主任委员； 中国生产工程学会 常务理事； 中国国际磨粒加工技术学会（ICAT）常务理事
性别：男
毕业院校：东北工学院
学位：博士
所在单位：机械工程学院
学科：机械制造及其自动化
办公地点：机械工程学院知方楼7185室
联系方式：0411-84706138 gaohang@dlut.edu.cn
电子邮箱：gaohang@dlut.edu.cn
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抛光加工参数对KDP晶体材料去除和表面质量的影响
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论文类型：期刊论文
发表时间：2010-02-15
发表刊物：人工晶体学报
收录刊物：EI、PKU、ISTIC、CSCD
卷号：39
期号：1
页面范围：29-33,43
ISSN号：1000-985X
关键字：KDP晶体;无磨料抛光;材料去除;表面质量
摘要：针对软脆易潮解KDP功能晶体材料的加工难点,提出了一种基于潮解原理的无磨料化学机械抛光新方法,研制了一种非水基无磨料抛光液,该抛光液结构为油包水型微乳液.通过控制抛光液中的含水量可以方便地控制KDP晶体静态蚀刻率和抛光过程中材料的去除率.实验中还研究了不同加工参数对晶体材料去除率和已加工表面质量的影响.该抛光液的设计为易潮解晶体的超精密抛光加工提供了一条新的技术途径.