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教授
博士生导师
硕士生导师
任职 : 精密与特种加工教育部重点实验室 副主任； 中国光整加工专业委员会 主任委员； 中国生产工程学会 常务理事； 中国国际磨粒加工技术学会（ICAT）常务理事
性别：男
毕业院校：东北工学院
学位：博士
所在单位：机械工程学院
学科：机械制造及其自动化
办公地点：机械工程学院知方楼7185室
联系方式：0411-84706138 gaohang@dlut.edu.cn
电子邮箱：gaohang@dlut.edu.cn
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碲锌镉晶体高效低损伤CMP工艺研究
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论文类型：期刊论文
发表时间：2009-04-15
发表刊物：人工晶体学报
收录刊物：Scopus、EI、PKU、ISTIC、CSCD
卷号：38
期号：2
页面范围：416-421
ISSN号：1000-985X
关键字：碲锌镉;化学机械抛光;抛光垫;氧化剂
摘要：本文采用新型的自行研制的化学机械抛光液,对碲锌镉晶体进行了化学机械抛光方法的尝试性试验,并分析了在化学机械抛光(CMP)过程中抛光垫的硬度、磨料的种类、氧化剂、抛光液的pH值对表面质量和材料去除率的影响,提出适合软脆功能晶体碲锌镉的高效低损伤抛光工艺.结果表明,采用自行研制的带有硝酸的化学机械抛光液,在pH优化值为2.5时,15 min即可获得Ra为0.67 nm的超光滑无损伤表面,大大提高了加工效率和精度.