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教授
博士生导师
硕士生导师
任职 : 精密与特种加工教育部重点实验室 副主任; 中国光整加工专业委员会 主任委员; 中国生产工程学会 常务理事; 中国国际磨粒加工技术学会(ICAT)常务理事
性别:男
毕业院校:东北工学院
学位:博士
所在单位:机械工程学院
学科:机械制造及其自动化
办公地点:机械工程学院知方楼7185室
联系方式:0411-84706138 gaohang@dlut.edu.cn
电子邮箱:gaohang@dlut.edu.cn
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KDP晶体加工表面的亚表面损伤检测与分析
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论文类型:期刊论文
发表时间:2007-11-15
发表刊物:光学精密工程
收录刊物:Scopus、EI、PKU、ISTIC、CSCD
卷号:15
期号:11
页面范围:1721-1726
ISSN号:1004-924X
关键字:KDP晶体;损伤检测;裂纹形状;裂纹深度
摘要:采用截面显微法和择优蚀刻法分别对磷酸二氢钾(KDP)晶体从线切割样品制备到磨削、抛光亚表面损伤进行检测,利用OLYMPUS MX40光学显微镜对表面腐蚀现象与亚表面裂纹形状进行观测,并对裂纹深度进行测量.结果表明,由线切割产生的亚表面损伤裂纹形状以"斜线状"为主,裂纹深度最大值为85.59 μm;由#600砂轮磨削产生的亚表面损伤深度最大值为8.55 μm.在(001)晶面出现了四方形的分布密度较高的位错腐蚀坑;而在三倍频晶面上出现的是密度较低、形状类似梯形的位错腐蚀坑.该研究为KDP晶体亚表面损伤提供了一种检测与分析手段.