Professor
Supervisor of Doctorate Candidates
Supervisor of Master's Candidates
Main positions: 集成电路学院院长
Title of Paper:Sb掺杂对MOCVD生长的ZnO薄膜性质的影响
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Date of Publication:2010-10-25
Page Number:321-322
Key Words:ZnO薄膜;MOCVD方法;掺杂改性
Abstract:利用MOCVD技术制备了Sb掺杂ZnO薄膜,在小掺杂量时研究了Sb的掺杂量对ZnO薄膜的结晶质量的影响,发现小掺杂量时随着Sb含量的增加ZnO薄膜的晶粒尺寸有所增加,结晶质量有所提高.
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