Title of Paper:衬底弯曲度对GaN基LED芯片性能的影响

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Date of Publication:2013-03-15

Journal:发光学报

Included Journals:EI、PKU、ISTIC、CSCD、Scopus

Volume:34

Issue:3

Page Number:340-344

ISSN No.:1000-7032

Key Words:GaN;LED;弯曲度;残余应力

Abstract:利用低压MOCVD系统在弯曲度值不同的蓝宝石衬底上生长了GaN基LED外延结构并制作芯片.测量了芯片的主要电学和光学参数,并分析了衬底弯曲度值对芯片性能的影响.分析结果表明:存在弯曲度的衬底预先弛豫了外延层中的部分应力,改善了外延层的质量,从而提高了LED芯片的性能.随着衬底弯曲度值的逐渐增加,下层GaN对有源层中InGaN材料的压应力作用不断减小,导致芯片的主波长逐渐发生蓝移.