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空间应力作用下的金属薄膜微电极韧性-蠕变断裂机理及解决方法研究

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Leading Scientist:liujunshan

Supported by:国家自然科学基金项目

Sub-Class of Project:青年科学基金项目

Status:结题

Supported by:国家自然科学基金委员会

Nature of Project:纵向

Project Approval Number:50605006

Date of Project Approval:2006-09-25

Scheduled completion time:2009-12-31

Date of Project Initiation:2007-01-01

Date of Project Completion:2009-12-31

Pre One:基于紫外光刻的聚合物二维纳米模具及其复制成形理论与方法研究

Next One:基于光刻控制中性层的柔性聚合物表面金属纳米裂纹制造研究