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Indexed by:期刊论文

Date of Publication:2008-01-15

Journal:微纳电子技术

Included Journals:PKU、ISTIC

Volume:45

Issue:1

Page Number:45-50

ISSN No.:1671-4776

Key Words:热压;温度控制;系统辨识;PID控制器

Abstract:设计实现性能良好的温度控制是聚合物微纳热压工艺探索及高质量热压加工的必要条件.对热压机温控系统进行了建模分析;将飞升曲线法和最小二乘法相结合,对系统进行了辨识;针对系统模型参数的不确定性,设计并实现了基于系统辨识整定控制参数的PID(比例-积分-微分)控制器.实验证明,此控制器超调量0.5℃、系统稳态误差±0.2℃,并且有良好的适应性,满足微纳热压工艺要求.