Release Time:2019-03-11  Hits:

Indexed by: Journal Article

Date of Publication: 2017-09-18

Journal: 实验技术与管理

Volume: 34

Issue: 9

Page Number: 181-184

ISSN: 1002-4956

Key Words: 光谱椭偏仪;椭偏实验;折射率;膜厚

Abstract: 椭偏法在材料的光学性质和薄膜厚度检测中发挥着重要的作用,椭偏测量也已纳入很多高校的实验教学内容.针对实验教学中原理展示性不足、与科研实际结合不紧密的问题,对课程形式和内容进行了改变.制作了光谱椭偏仪器件装配和动态测量视频,增加椭偏测量教学中的原理展示性,加强理论贯通性,联系科研实际,增加实验内容,通过对不同类型样品的测量分析讨论,培养学生解决实际问题的能力和创造性思维.