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Indexed by:期刊论文
Date of Publication:2015-10-28
Journal:实验室科学
Volume:18
Issue:5
Page Number:60-62
ISSN No.:1672-4305
Key Words:加速电压;工作距离;扫描速度
Abstract:利用扫描电镜观察不导电聚合物材料上的微纳结构时,样品的导电性和扫描电镜的观察参数设置直接影响了图像质量.在聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)样品表面溅射导电层后,研究了加速电压、工作距离和扫描速度对图像质量的影响,在高加速电压、小工作距离和适中的扫描速度下,获得了PMMA微纳沟道的清晰图像.
