扫描电镜在聚合物PMMA微纳结构成像中的应用
Release Time:2019-03-10 Hits:
Indexed by: Journal Article
Date of Publication: 2015-10-28
Journal: 实验室科学
Volume: 18
Issue: 5
Page Number: 60-62
ISSN: 1672-4305
Key Words: 加速电压;工作距离;扫描速度
Abstract: 利用扫描电镜观察不导电聚合物材料上的微纳结构时,样品的导电性和扫描电镜的观察参数设置直接影响了图像质量.在聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)样品表面溅射导电层后,研究了加速电压、工作距离和扫描速度对图像质量的影响,在高加速电压、小工作距离和适中的扫描速度下,获得了PMMA微纳沟道的清晰图像.