谭毅Yi Tan

(教授)

 博士生导师  硕士生导师
学位:博士
性别:男
毕业院校:东京工业大学
所在单位:材料科学与工程学院
电子邮箱:tanyi@dlut.edu.cn

科研项目

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电子束注入对多晶硅Si/SiO2界面处杂质硼迁移的影响研究

发布时间:2016-08-09 点击次数:

负责人姓名:谭毅
项目来源:国家自然科学基金项目
项目子类:面上项目
项目状态:结题
项目来源单位:国家自然科学基金委员会
项目性质:纵向
项目批准号:51074032
立项时间:2010-09-25
开始日期:2011-01-01
计划完成时间:2013-12-31
结项日期:2013-12-31