博士生导师 硕士生导师 学位:博士 性别:男 毕业院校:东京工业大学 所在单位:材料科学与工程学院 电子邮箱:tanyi@dlut.edu.cn
论文名称:电子束熔炼制备太阳能级多晶硅 论文类型:会议论文 页面范围:361-361 关键字:电子束熔炼;多晶硅;杂质;提纯 摘要: 电子束熔炼提纯多晶硅是冶金法制备太阳能级多晶硅的关键环节,根据硅中磷、铝、钙等挥发性杂质饱和蒸气压大于硅的特点,利用电子束提供的高温、高真空的环境,使这一类杂质从硅熔体中蒸发去除。 发表时间:2013-10-25
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