大连理工大学主页平台管理系统谭毅 New method of boron removal from silicon by electron beam injection 中文主页

基本信息

教授

博士生导师硕士生导师
学位：博士
性别：男
毕业院校：东京工业大学
所在单位：材料科学与工程学院
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发布时间：2019-03-12 点击次数：

论文类型：期刊论文
发表刊物：Materials Science in Semiconductor Processing
卷号：18
期号：2
页面范围：42-45