博士生导师 硕士生导师 学位：博士 性别：男 毕业院校：东京工业大学 所在单位：材料科学与工程学院 电子邮箱：tanyi@dlut.edu.cn
论文名称：升级冶金级Si衬底上ECR-PECVD沉积多晶Si薄膜 发表刊物：半导体技术 所属单位：材料科学与工程学院 期号：2 页面范围：117-120 ISSN号：1003-353X 备注：新增回溯数据 发表时间：2008-01-01
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